Структурная и структурно-химическая модификация физических алмазоподобных кремний-углеродных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 1.3.11 Физика полупроводников / Чуканова Татьяна Сергеевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чуканова, Т. С. |
| Опубликовано: | Москва , 2023 |
| Физические характеристики: |
19 с., включая обложку : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||