|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001858887 |
| 005 |
20231113200355.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20230825d2023 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структурная и структурно-химическая модификация физических алмазоподобных кремний-углеродных пленок
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 1.3.11 Физика полупроводников
$f Чуканова Татьяна Сергеевна
$g [место защиты: Национальный исследовательский университет "МЭИ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2023
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с., включая обложку
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17—19 (14 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3211955
$a АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2437561
$a ХИМИЧЕСКАЯ МОДИФИКАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4243867
$a СТРУКТУРНЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39284
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a кремний-углеродные плёнки
|
| 610 |
0 |
# |
$a крэмній-вугляродныя плёнкі
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 1.3.11
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14512428
$a Чуканова
$b Т. С.
$g Татьяна Сергеевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20230825
$g RCR
|
