Разработка газочувствительных сенсоров на основе кремний-углеродных пленок и исследование их функциональных характеристик: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Михайлова Татьяна Сергеевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//252576(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Михайлова, Т. С.
Опубликовано: Таганрог , 2023
Физические характеристики: 21 с. : ил., цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
АТОМЫ
МЕДЬ
МАРГАНЕЦ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
РЕЗИСТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ТЕМПЕРАТУРНОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
ИМПЕДАНС
ФУНКЦИИ ОТКЛИКА
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ
МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
кремний-углеродные плёнки
крэмній-вугляродныя плёнкі
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001838064
005 20230803080600.0
100 # # $a 20230511d2023 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка газочувствительных сенсоров на основе кремний-углеродных пленок и исследование их функциональных характеристик  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств  $f Михайлова Татьяна Сергеевна  $g [место защиты: Южный федеральный университет] 
210 # # $a Таганрог  $d 2023 
215 # # $a 21 с.  $c ил., цв. ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 19—21 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3177  $a АТОМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17608  $a МЕДЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17138  $a МАРГАНЕЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27843  $a РЕЗИСТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33294  $a ТЕМПЕРАТУРНОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36645  $a ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25795  $a ИМПЕДАНС  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2857183  $a ФУНКЦИИ ОТКЛИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1791918  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14472967  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17958  $a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29804  $a СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
610 0 # $a кремний-углеродные плёнки 
610 0 # $a крэмній-вугляродныя плёнкі 
686 # # $a 2.2.2  $2 oksvnk 
686 # # $a 59.35.29  $v 6  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.09.31  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar14494322  $a Михайлова  $b Т. С.  $g Татьяна Сергеевна  $c радиоэлектроник 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20230511  $g RCR 

Схожие документы