Комплекс методик анализа профильного распределения химического состава по глубине нанообъектов и тонких пленок методами оже-спектроскопии и времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.6.6 Нанотехнологии и наноматериалы / Дронова Дарья Алексеевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//251923(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Дронова, Д. А.
Опубликовано: Москва , 2023
Физические характеристики: 33 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001828532
005 20230519130713.0
100 # # $a 20230320d2023 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Комплекс методик анализа профильного распределения химического состава по глубине нанообъектов и тонких пленок методами оже-спектроскопии и времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 2.6.6 Нанотехнологии и наноматериалы  $f Дронова Дарья Алексеевна  $g [место защиты: Национальный исследовательский технологический университет "МИЭТ"] 
210 # # $a Москва  $d 2023 
215 # # $a 33 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 32—33 (10 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2289608  $a НАНОМАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36797  $a ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1756760  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7349112  $a ПРЕЦИЗИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3283761  $a ВРЕМЯПРОЛЕТНАЯ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5215553  $a МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56685  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 81.09.30  $v 4  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.26  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 2.6.6.  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14304819  $a Дронова  $b Д. А.  $g Дарья Алексеевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20230320  $g RCR