|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001828532 |
005 |
20230519130713.0 |
100 |
# |
# |
$a 20230320d2023 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Комплекс методик анализа профильного распределения химического состава по глубине нанообъектов и тонких пленок методами оже-спектроскопии и времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 2.6.6 Нанотехнологии и наноматериалы
$f Дронова Дарья Алексеевна
$g [место защиты: Национальный исследовательский технологический университет "МИЭТ"]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2023
|
215 |
# |
# |
$a 33 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 32—33 (10 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2289608
$a НАНОМАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36797
$a ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1756760
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7349112
$a ПРЕЦИЗИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3283761
$a ВРЕМЯПРОЛЕТНАЯ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5215553
$a МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar56685
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 81.09.30
$v 4
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 31.19
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 31.15.19
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.31.26
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 2.6.6.
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14304819
$a Дронова
$b Д. А.
$g Дарья Алексеевна
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20230320
$g RCR
|