|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001826732 |
005 |
20230515080015.0 |
100 |
# |
# |
$a 20230310d2023 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка интегральной технологии формирования планарных эмиссионных приборов на основе углеродных нанотрубок на сплаве Nb-Co-N-(O)
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
$f Ерицян Георгий Спартакович
$g [место защиты: Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2023
|
215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—22
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1890634
$a ЭМИССИОННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1799074
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38926
$a ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5236997
$a ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2375793
$a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60038
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.14.05
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.09
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 2.2.3.
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14416893
$a Ерицян
$b Г. С.
$g Георгий Спартакович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20230310
$g RCR
|