Исследование и разработка интегральной технологии формирования планарных эмиссионных приборов на основе углеродных нанотрубок на сплаве Nb-Co-N-(O): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Ерицян Георгий Спартакович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//251806(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ерицян, Г. С.
Опубликовано: Москва , 2023
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001826732
005 20230515080015.0
100 # # $a 20230310d2023 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка интегральной технологии формирования планарных эмиссионных приборов на основе углеродных нанотрубок на сплаве Nb-Co-N-(O)  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники  $f Ерицян Георгий Спартакович  $g [место защиты: Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"] 
210 # # $a Москва  $d 2023 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 20—22 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7358508  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1890634  $a ЭМИССИОННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1799074  $a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38926  $a ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5236997  $a ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2375793  $a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2493283  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.14.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.05  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.09  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.48  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 2.2.3.  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14416893  $a Ерицян  $b Г. С.  $g Георгий Спартакович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20230310  $g RCR