Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов: (окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия и т. д.): отечественная и иностранная литература за 1968―1969 г. II кв. / составитель Ижмякова Л. Ф.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1969 |
| Физические характеристики: |
192 с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 46 (93) |
Загрузка