|
|
|
|
|
00000nam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001794800 |
| 005 |
20221014103117.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20221014d1969 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a y ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов
$e (окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия и т. д.)
$e отечественная и иностранная литература за 1968―1969 г. II кв.
$f составитель Ижмякова Л. Ф.
$g [редактор Щеглова В. В.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1969
|
| 215 |
# |
# |
$a 192 с.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тематические указатели литературы
$i Серия: Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 46 (93)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000645899
$1 2001
$v Вып. 46
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ижмякова
$b Л. Ф.
$g Людмила Федоровна
$4 220
|
| 702 |
# |
1 |
$a Щеглова
$b В. В.
$g Валентина Викторовна
$4 340
|
| 711 |
0 |
1 |
$3 BY-PLRB-ar13181370
$a СССР
$b Министерство электронной промышленности
|
| 711 |
0 |
0 |
$3 BY-NLB-ar5808666
$a "Электроника"
$g институт
$c Москва
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20221014
$g RCR
|
