|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001793737 |
005 |
20230117071449.0 |
100 |
# |
# |
$a 20221007d2022 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Атомное и электронное строение, электрические и оптические свойства композитных пленок Si-SiOx
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 1.3.11 Физика полупроводников
$f Барков Константин Александрович
$g [Воронежский государственный университет]
|
210 |
# |
# |
$a Воронеж
$d 2022
|
215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил., цв. ил., табл.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18—22 (25 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35619
$a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39284
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6756
$a ГАЗОВЫЕ СМЕСИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13410
$a КИСЛОРОД
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381802
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar78733
$a НАНОКЛАСТЕРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 1.3.11.
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.23
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.24
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14325372
$a Барков
$b К. А.
$g Константин Александрович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20221007
$g RCR
|