Атомное и электронное строение, электрические и оптические свойства композитных пленок Si-SiOx: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.11 Физика полупроводников / Барков Константин Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//248899(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Барков, К. А.
Опубликовано: Воронеж , 2022
Физические характеристики: 22 с. : ил., цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001793737
005 20230117071449.0
100 # # $a 20221007d2022 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Атомное и электронное строение, электрические и оптические свойства композитных пленок Si-SiOx  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 1.3.11 Физика полупроводников  $f Барков Константин Александрович  $g [Воронежский государственный университет] 
210 # # $a Воронеж  $d 2022 
215 # # $a 22 с.  $c ил., цв. ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 18—22 (25 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35619  $a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6756  $a ГАЗОВЫЕ СМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13410  $a КИСЛОРОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78733  $a НАНОКЛАСТЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 1.3.11.  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.24  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14325372  $a Барков  $b К. А.  $g Константин Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20221007  $g RCR