Сегнетоэлектрические пленки титаната-станната и титаната-цирконата бария для сверхвысокочастотных применений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Сапего Евгений Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//248877(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сапего, Е. Н.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2022
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001793037
005 20221205161630.0
100 # # $a 20221004d2022 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Сегнетоэлектрические пленки титаната-станната и титаната-цирконата бария для сверхвысокочастотных применений  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Сапего Евгений Николаевич  $g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2022 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8280944  $a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23812  $a ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3170564  $a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2714525  $a ТИТАНАТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2714522  $a ЦИРКОНАТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3329356  $a СТАННАТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3562  $a БАРИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9575  $a ДИЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32374  $a СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.09.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14322561  $a Сапего  $b Е. Н.  $g Евгений Николаевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20221004  $g RCR