|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001788596 |
005 |
20240122120046.0 |
100 |
# |
# |
$a 20220908d2022 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e специальность 1.3.11 Физика полупроводников
$f Трегулов Вадим Викторович
$g [Рязанский государственный университет им. С. А. Есенина]
|
210 |
# |
# |
$a Рязань
$d 2022
|
215 |
# |
# |
$a 39 с., включая обложку
$c ил., табл.
|
311 |
# |
# |
$a В фонде НББ имеется автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук (Рязань, 2023)
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 32—39
|
488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0001878497
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2745708
$a ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1720201
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 1.3.11.
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14308467
$a Трегулов
$b В. В.
$g Вадим Викторович
$c кандидат технических наук
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220908
$g RCR
|