|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001786305 |
| 005 |
20230519145043.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20220825d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
$d eng
$d bel
$d rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Наливайко Олег Юрьевич
$g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках
|
| 311 |
# |
# |
$a В фонде НББ имеется диссертация
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17—22 (47 назв.)
|
| 488 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0001834209
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3171698
$a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36350
$a ФОСФОР
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6196
$a ВОЛЬФРАМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1733874
$a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4760361
$a ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793/.794(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502673
$a Наливайко
$b О. Ю.
$g Олег Юрьевич
$c кандидат технических наук, электроника
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 995
$4 595
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar7184106
$a "Интеграл" — управляющая компания холдинга "Интеграл"
$g открытое акционерное общество
$c Минск
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220825
$g RCR
|
| 830 |
# |
# |
$a 06.10.2022
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/57594/2/default.htm
|
