Форвакуумный плазменный источник ленточного электронного пучка для пучково-плазменной модификации диэлектриков: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 1.3.5 Физическая электроника / Чан Ван Ту

Сохранено в:
Шифр документа: 2//247577(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Чан Ван Ту
Опубликовано: Томск , 2022
Физические характеристики: 18 с. : ил., цв. ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001782814
005 20221203103144.0
100 # # $a 20220802d2022 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Форвакуумный плазменный источник ленточного электронного пучка для пучково-плазменной модификации диэлектриков  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 1.3.5 Физическая электроника  $f Чан Ван Ту  $g [Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники] 
210 # # $a Томск  $d 2022 
215 # # $a 18 с.  $c ил., цв. ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35913  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1606378  $a ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23655  $a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39098  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12458  $a ИСТОЧНИКИ ЭЛЕКТРОНОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9575  $a ДИЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.35.39  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.51  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.29.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 1.3.5  $2 oksvnk 
700 # 0 $3 BY-SEK-ar14288463  $a Чан Ван Ту 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20220802  $g RCR