Модифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo): диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Михалкович Олег Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//8196(039), ##32Н//486058CD(055),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Михалкович, О. М.
Опубликовано: Минск , 2021
Физические характеристики: 142 л. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
КРЕМНИЙ
СТЕКЛО
МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ
ИОННОЕ АССИСТИРОВАНИЕ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001780595
005 20220902143623.0
100 # # $a 20220718h20212022k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Модифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo)  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Михалкович Олег Михайлович  $g научный руководительТашлыков И. С.  $g Учреждение образования "Белорусский государственный педагогический университет им. Максима Танка" 
210 # # $a Минск  $d 2021 
215 # # $a 142 л.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: л. 104—125 
328 # 0 $d Защищена 04.03.2022, утверждена 25.05.2022 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001750767 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31993  $a СТЕКЛО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130309  $a ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14198465  $a ИОННОЕ АССИСТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 538.97(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.234:533.924-113(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.51  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14179728  $a Михалкович  $b О. М.  $g Олег Михайлович  $c кандидат физико-математических наук 
702 # 1 $3 BY-SEK-299763  $a Ташлыков  $b И. С.  $g Игорь Серафимович  $c доктор физико-математических наук  $f 1946—2016  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2337251  $a Белорусский государственный педагогический университет имени Максима Танка  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20220222  $g RCR 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/57503/2/default.html 

Схожие документы