Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Нгуен Динь Туен

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//8147(039), ##32Н//484217DVD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Нгуен Динь Туен
Опубликовано: Минск , 2021
Физические характеристики: 141 л. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001774385
005 20220622142900.0
100 # # $a 20220608h20212021k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Нгуен Динь Туен  $g научный руководитель Голосов Д. А.  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2021 
215 # # $a 141 л.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: л. 127—138 
328 # 0 $d Защищена 25.11.2021, утверждена 09.03.2022 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001727585 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39182  $a ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12136  $a ИНФРАКРАСНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2847095  $a ОКСИДЫ ВАНАДИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.384.3-027.3:621.793.7(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.57  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 0 $3 BY-SEK-ar14096742  $a Нгуен Динь Туен  $c кандидат технических наук, радиоэлектроника 
702 # 1 $3 BY-NLB-ar2637559  $a Голосов  $b Д. А.  $g Дмитрий Анатольевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1971  $4 727 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20211027  $g RCR 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/57266/2/default.html