|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001773493 |
| 005 |
20220825170019.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20220606d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 2.2.8 Методы и приборы контроля и диагностики материалов изделий, веществ природной среды
$f Дедкова Анна Александровна
$g [Институт перспективных материалов и технологий, Центр коллективного пользования "Микросистемная техника и электронная компонентная база", "Московский институт электронной техники"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c цв. ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—24 (39 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11337
$a ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2475984
$a ПЛЕНОЧНЫЕ МЕМБРАНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1587630
$a РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТИ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18180
$a МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21841
$a ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1589088
$a ЦИФРОВЫЕ МОДЕЛИ РЕЛЬЕФА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.45.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.03.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 2.2.8.
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14248567
$a Дедкова
$b А. А.
$g Анна Александровна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220606
$g RCR
|
