|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001770263 |
| 005 |
20220825190550.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20220524d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Теоретическое и экспериментальное исследование пьезоэлектрического возбуждения МЭМС резонаторов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Кешаварздивколаи Камран
$g [МИРЭА – Российский технологический университет (РТУ МИРЭА)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с., включая обложку
$c цв. ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1912814
$a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ГИРОСКОПЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1606602
$a ПЬЕЗОРЕЗОНАТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5174486
$a КОЛЬЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3170564
$a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5924366
$a ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТ СВИНЦА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar73978
$a ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПРОЦЕСС
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.45.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.31.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14238236
$a Кешаварздивколаи
$b К.
$g Камран
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220524
$g RCR
|
