Эпитаксия: (приложение) [с иллюстрациями]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники , 1970 |
| Физические характеристики: |
31 л. : ил. ; 29 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
приложение к вып. 4 |
| Предмет: |
Загрузка