Технология спецматериалов интегральных схем: [сборник статей / ответственный редактор Е. Б. Соколов]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники , 1976 |
| Физические характеристики: |
213 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
вып. 24 |
Загрузка