Эпитаксия. [Ч.] 2: [сборник статей / ответственный редактор Ю. Д. Чистяков]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники , 1975 |
| Физические характеристики: |
297 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
вып. 20 |
| Предмет: |
Загрузка