Электрофизические и рекомбинационные свойства дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.11 Физика полупроводников / Данилов Денис Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилов, Д. В. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Физические характеристики: |
17 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||