|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001748672 |
| 005 |
20220513130814.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20220211d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электрофизические и рекомбинационные свойства дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 1.3.11 Физика полупроводников
$f Данилов Денис Васильевич
$g [Санкт-Петербургский государственный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16—17 (15 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13410
$a КИСЛОРОД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4600968
$a ПРЕЦИПИТАТЫ (физ. химия)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar87382
$a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 1.3.11.
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14172319
$a Данилов
$b Д. В.
$g Денис Васильевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220211
$g RCR
|
