Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Облов Константин Юрьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//243662(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Облов, К. Ю.
Опубликовано: Москва , 2021
Физические характеристики: 31 с. : цв. ил., ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001741765
005 20220222180955.0
100 # # $a 20220104d2021 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Облов Константин Юрьевич  $g [Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"] 
210 # # $a Москва  $d 2021 
215 # # $a 31 с.  $c цв. ил., ил. 
320 # # $a Библиография: с. 26—31 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5731694  $a ГАЗОВЫЕ ДЕТЕКТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5935571  $a МЕТАЛЛООКСИДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7935925  $a ТОКСИКАНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2695043  $a ГОРЮЧИЕ ГАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39536  $a ЭНЕРГОПОТРЕБЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13276  $a КЕРАМИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78052  $a ОКСИД АЛЮМИНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2267230  $a ДИОКСИД ЦИРКОНИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15677  $a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36526  $a ФРЕЗЕРОВАНИЕ (техн.)  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 59.35.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.41  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14145234  $a Облов  $b К. Ю.  $g Константин Юрьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20220104  $g RCR