Резистивные газовые сенсоры на основе тонких пленок SnO2 с аддитивами Lu, Tb, Yb и Sb: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах / Котов Вячеслав Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//243586(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Котов, В. А.
Опубликовано: Москва , 2021
Физические характеристики: 19, [1] с., включая обложку : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001741551
005 20220407073201.0
100 # # $a 20220103d2021 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Резистивные газовые сенсоры на основе тонких пленок SnO2 с аддитивами Lu, Tb, Yb и Sb  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах  $f Котов Вячеслав Александрович  $g [Национальный исследовательский университет "МЭИ"] 
210 # # $a Москва  $d 2021 
215 # # $a 19, [1] с., включая обложку  $c ил. 
320 # # $a Библиография в конце текста (13 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar57386  $a РЕЗИСТИВНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2862840  $a НАНОПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14222  $a КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3174452  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ (метрол.)  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.35.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13421718  $a Котов  $b В. А.  $g Вячеслав Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20220103  $g RCR