|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001737232 |
| 005 |
20220225121526.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20211210d2021 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Определение надежности суб-100-нм КМОП ИС методом ускоренных испытаний тестовых структур, размещенных на полупроводниковой пластине
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Сивченко Александр Сергеевич
$g [Научно-производственный комплекс "Технологический центр"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2021
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24604
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar10484490
$a КМОП-СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2708023
$a ЭКСПЛУАТАЦИОННАЯ НАДЕЖНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar56222
$a ОЦЕНКИ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4617602
$a УСКОРЕННЫЕ ИСПЫТАНИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14.23
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14129693
$a Сивченко
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20211210
$g RCR
|
