Технология тонких и толстых пленок: [сборник статей] / предисловие А. К. Катмана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Мир , 1971 (вып. дан. 1972) |
| Физические характеристики: |
201 с. : ил. ; 26 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды Института инженеров по электротехнике и радиоэлектронике
т. 59, № 10 |
Загрузка