Papers on optical lithography / [guest editors: G. L.-T. Chiu, J. M. Shaw]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Armonk, NY : International Business Machines Corporation , 1997 |
| Физические характеристики: |
200 с. : іл. ; 28 см
|
| Язык: | Английский |
| Серия: |
IBM journal of research and development
vol. 41, № 1/2 |
Загрузка