Исследование омических контактов к легированным наногетероструктурам GaAs, InGaAs для полевых и гетеробиполярных СВЧ-транзисторов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Неженцев Алексей Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//238117(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Неженцев, А. В.
Опубликовано: Москва , 2020
Физические характеристики: 23 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
ОМИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ
НАНОСТРУКТУРЫ
ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
АРСЕНИД ИНДИЯ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
РАСЧЕТА МЕТОДЫ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001675567
005 20210517163653.0
100 # # $a 20210212d2020 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование омических контактов к легированным наногетероструктурам GaAs, InGaAs для полевых и гетеробиполярных СВЧ-транзисторов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Неженцев Алексей Викторович  $g [Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"] 
210 # # $a Москва  $d 2020 
215 # # $a 23 с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 21—23 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24602  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125662  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1735600  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7329625  $a ОМИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7368  $a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6882  $a АРСЕНИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar66274  $a АРСЕНИД ИНДИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17978  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar88186  $a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33904  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.03.05  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.03.10  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13938716  $a Неженцев  $b А. В.  $g Алексей Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20210212  $g RCR 

Схожие документы