Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Юшков Юрий Георгиевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//237949(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Юшков, Ю. Г. (род. 1986)
Опубликовано: Томск , 2020
Физические характеристики: 32 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001673383
005 20230615102403.0
100 # # $a 20210202d2020 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 01.04.04 Физическая электроника  $f Юшков Юрий Георгиевич  $g [Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР)] 
210 # # $a Томск  $d 2020 
215 # # $a 32 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 28—32 (56 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10861  $a ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10853  $a ЗАЩИТНО-ДЕКОРАТИВНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9579  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39164  $a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11806834  $a ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14472957  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 55.22.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5527383  $a Юшков  $b Ю. Г.  $g Юрий Георгиевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1986 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20210202  $g RCR