Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Филиппов Иван Андреевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//237247(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Филиппов, И. А.
Опубликовано: Томск , 2020
Физические характеристики: 22 с. : ил., цв. ил.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ПЛАЗМОНИКА
НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
НАНОСТРУКТУРЫ
КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
СПАЗЕРЫ
СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
НИТРИД КРЕМНИЯ
ОКСИДЫ КРЕМНИЯ
ГАЗОВАЯ ФАЗА
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
РАСЧЕТНЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001662916
005 20210421100402.0
100 # # $a 20201209d2020 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.04.04 Физическая электроника  $f Филиппов Иван Андреевич  $g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Национальный исследовательский Томский государственный университет] 
210 # # $a Томск  $d 2020 
215 # # $a 22 с.  $c ил., цв. ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—22 (9 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35913  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1681814  $a ПЛАЗМОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7368  $a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14452  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8905885  $a СПАЗЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1735600  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23655  $a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20812  $a НИТРИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2212609  $a ОКСИДЫ КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60491  $a ГАЗОВАЯ ФАЗА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5044223  $a РАСЧЕТНЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13893043  $a Филиппов  $b И. А.  $g Иван Андреевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20201209  $g RCR 

Схожие документы