Исследование и разработка процессов модификации поверхности полимерных материалов микро- и оптоэлектроники на основе низкочастотного газового разряда плазмы атмосферного давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.16.09 Материаловедение (Машиностроение) / Шведов Андрей Викторович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Шведов, А. В. |
Опубликовано: | Москва , 2020 |
Физические характеристики: |
23 с. : цв. ил., табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|