|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001662067 |
| 005 |
20210614154453.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20201204d2020 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка процессов модификации поверхности полимерных материалов микро- и оптоэлектроники на основе низкочастотного газового разряда плазмы атмосферного давления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.16.09 Материаловедение (Машиностроение)
$f Шведов Андрей Викторович
$g [Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2020
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c цв. ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—23 (10 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24351
$a ПОЛИМЕРНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21873
$a ОПТОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20764
$a НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.16.09
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13889393
$a Шведов
$b А. В.
$g Андрей Викторович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20201204
$g RCR
|
