Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Морозов Иван Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//236087(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Морозов, И. А. (род. 1989)
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2020
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001654943
005 20220815164306.0
100 # # $a 20201029d2020 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Морозов Иван Александрович  $g [Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет им. Ж. И. Алферова Российской академии наук] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2020 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 16—18 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2775397  $a СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83892  $a ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14452  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39844  $a ЭФФЕКТИВНОСТЬ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 44.37.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar14292497  $a Морозов  $b И. А.  $g Иван Александрович  $c кандидат технических наук, физик  $f род. 1989 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20201029  $g RCR