Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//235242(039), 2Н//235243(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Вилья Пинеда, Н. А.
Опубликовано: Минск , 2020
Физические характеристики: 21 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МДП-СТРУКТУРЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001644679
005 20210409142229.0
100 # # $a 20200909d2020 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d bel  $d rus  $d eng 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Вилья Пинеда Номар Альберто  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2020 
215 # # $a 21 с.  $c ил., табл. 
300 # # $a Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 (10 назв.) 
488 # 1 $1 001BY-NLB-br0001682532 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55300  $a МДП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1756760  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9573  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23654  $a ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793.74(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13823980  $a Вилья Пинеда  $b Н. А.  $g Номар Альберто  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 595  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20200909  $g RCR 
830 # # $a 01.10.2020 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001644679&fileID=9311699 

Схожие документы