Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС: учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и нанотехнологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы", 1-41 01 04 "Нанотехнологии и наноматериалы в электронике": [для студентов, изучающих дисциплины "Технология изготовления интегральных микросхем", "Технологические процессы в микроэлектронике", "Основы твердотельной электроники"] / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники