Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС: учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и нанотехнологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы", 1-41 01 04 "Нанотехнологии и наноматериалы в электронике": [для студентов, изучающих дисциплины "Технология изготовления интегральных микросхем", "Технологические процессы в микроэлектронике", "Основы твердотельной электроники"] / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Published: | Минск : БГУИР , 2020 |
| Physical Description: |
67, [1] с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||