|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001623771 |
| 005 |
20220412151043.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-543-477-2
|
| 100 |
# |
# |
$a 20200423d2020 f y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС
$e учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и нанотехнологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы", 1-41 01 04 "Нанотехнологии и наноматериалы в электронике"
$e [для студентов, изучающих дисциплины "Технология изготовления интегральных микросхем", "Технологические процессы в микроэлектронике", "Основы твердотельной электроники"]
$f Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники
$g [Д. А. Котов и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c БГУИР
$d 2020
|
| 215 |
# |
# |
$a 67, [1] с.
$c ил., табл.
$d 20 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 66―68 (37 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 50 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2273471
$a УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ СТУДЕНТОВ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793/.794(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.01.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-379461
$a Котов
$b Д. А.
$g Дмитрий Анатольевич
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-119444
$a Родионов
$b Ю. А.
$g Юрий Анатольевич
$c кандидат технических наук, микроэлектроника
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13745043
$a Ясюнас
$b А. А.
$g Александр Алексеевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1985
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5231082
$a Ковальчук
$b Н. С.
$g Наталья Станиславовна
$c кандидат технических наук
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2638592
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$b Кафедра микро- и наноэлектроники
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20200423
$g RCR
|
