Численное моделирование электромагнитных линз методом конечных элементов: (Препринт)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гайфуллин, Б. Н. |
| Опубликовано: | Черноголовка : Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов , 1989 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000003ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br0001622758 | ||
| 005 | 20200416094815.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20200416d1989 |||||rus|50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 200 | 1 | # | $a Численное моделирование электромагнитных линз методом конечных элементов $e (Препринт) |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $c Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 700 | # | 1 | $a Гайфуллин $b Б. Н. |
| 702 | # | 1 | $a Казьмирук $b В. В. |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20200416 $g RCR |