Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вертянов Денис Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//234031(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Вертянов, Д. В.
Опубликовано: Москва , 2020
Физические характеристики: 24 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001622579
005 20200910160400.0
100 # # $a 20200415d2020 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Вертянов Денис Васильевич  $g [Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники (МИЭТ)" 
210 # # $a Москва  $d 2020 
215 # # $a 24 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 22—24 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18294  $a МИКРОСБОРКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58462  $a КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar57571  $a ПОЛИИМИДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3321655  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.41  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.17  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13737166  $a Вертянов  $b Д. В.  $g Денис Васильевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20200415  $g RCR