|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001622579 |
005 |
20200910160400.0 |
100 |
# |
# |
$a 20200415d2020 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Вертянов Денис Васильевич
$g [Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники (МИЭТ)"
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2020
|
215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—24
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18294
$a МИКРОСБОРКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar58462
$a КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar57571
$a ПОЛИИМИДЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3321655
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.41
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.14.17
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13737166
$a Вертянов
$b Д. В.
$g Денис Васильевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20200415
$g RCR
|