|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001611877 |
| 005 |
20220412151214.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-08-2521-6
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20200219d2020 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
$f [А. П. Достанко и др.]
$g под общей редакцией А. П. Достанко
$g Национальная академия наук Беларуси, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Беларуская навука
$d 2020
|
| 215 |
# |
# |
$a 259, [1] с.
$c ил., табл.
$d 25 см
|
| 304 |
# |
# |
$a Авторы указаны перед выпускными данными
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 120 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1657703
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3351153
$a ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495390
$a Достанко
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор технических наук
$f род. 1937
$4 340
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-369599
$a Аваков
$b С. М.
$g Сергей Мирзоевич
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1955
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637559
$a Голосов
$b Д. А.
$g Дмитрий Анатольевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1971
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502537
$a Емельянов
$b В. А.
$g Виктор Андреевич
$c доктор технических наук
$f род. 1948
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637692
$a Завадский
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar5323796
$a Колос
$b В. В.
$g Владимир Владимирович
$c кандидат физико-математических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637712
$a Ланин
$b В. Л.
$g Владимир Леонидович
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1948
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-br4883719
$a Мадвейко
$b С. И.
$g Сергей Игоревич
$c кандидат технических наук
$f род. 1984
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-ar1681789
$a Мельников
$b С. Н.
$g Сергей Николаевич
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-125260
$a Никитюк
$b Ю. В.
$g Юрий Валерьевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar7103445
$a Петлицкий
$b А. Н.
$g Александр Николаевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar1998334
$a Петухов
$b И. Б.
$g Игорь Борисович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-241260
$a Пилипенко
$b В. А.
$g Владимир Александрович
$c доктор технических наук
$f род. 1949
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-677117
$a Плебанович
$b В. И.
$g Владимир Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar1881914
$a Солодуха
$b В. А.
$g Виталий Александрович
$c доктор технических наук, электроника
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar9238365
$a Соколов
$b С. И.
$g Сергей Иванович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-375809
$a Телеш
$b Е. В.
$g Евгений Владимирович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-125258
$a Шершнев
$b Е. Б.
$g Евгений Борисович
$c кандидат технических наук, физик
$f род. 1960
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar189198
$a Национальная академия наук Беларуси
$c Минск
$4 475
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 570
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20200219
$g RCR
|
