|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001611402 |
| 005 |
20200313191033.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20200217h20192019k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Мельников Сергей Николаевич
$g научный руководитель Кундас Семен Петрович
$g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 219 л.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: л. 176—193
|
| 328 |
# |
0 |
$d Защищена 03.10.2019, утверждена 18.12.2019
|
| 333 |
# |
# |
$a Электронная копия размещена с разрешения автора
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0001576076
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17968
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17280
$a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25739
$a ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.793.74:519.87:004.9(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.41.25
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-ar1681789
$a Мельников
$b С. Н.
$g Сергей Николаевич
$c кандидат технических наук
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar161314
$a Кундас
$b С. П.
$g Семен Петрович
$c доктор технических наук
$f 1953—2020
$4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 595
$4 995
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190906
$g RCR
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/55560/2/default.html
|
