Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Косенок Янина Александровна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//7326(039), ##32Н//434446CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Косенок, Я. А. (род. 1978)
Опубликовано: Минск , 2019
Физические характеристики: 170 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001611373
005 20220429094610.0
100 # # $a 20200217h20192019k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы  $f Косенок Янина Александровна  $g научный руководитель Гайшун Владимир Евгеньевич  $g Учреждение образования "Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины" 
210 # # $a Минск  $d 2019 
215 # # $a 170 л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 127—142 
328 # 0 $d Защищена 31.10.2019, утверждена 26.12.2019 
333 # # $a Электронная копия размещена с разрешения автора 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15100  $a ДИОКСИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
607 # # $3 BY-NLB-ar77427  $a Беларусь, Республика  $2 BY-auth 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
660 # # $a e-bw 
675 # # $a 661.682(043.3)(476)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.16.08  $2 nsnrrb 
686 # # $a 61.01  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13587450  $a Косенок  $b Я. А.  $g Янина Александровна  $c кандидат технических наук  $f род. 1978 
702 # 1 $3 BY-SEK-508333  $a Гайшун  $b В. Е.  $g Владимир Евгеньевич  $c кандидат физико-математических наук, физик  $f род. 1970  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar170090  $a Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190906  $g RCR 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/55729/2/default.html