Имитационное моделирование динамических особенностей системы управления технологическим процессом выращивания монокристаллов по методу Чохральского: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.13.06 Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами / Чжо Наинг Сое

Сохранено в:
Шифр документа: 2//232307(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Чжо Наинг Сое
Опубликовано: Москва , 2019
Физические характеристики: 24 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001602614
005 20200227161102.0
100 # # $a 20200109d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Имитационное моделирование динамических особенностей системы управления технологическим процессом выращивания монокристаллов по методу Чохральского  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.13.06 Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами  $f Чжо Наинг Сое  $g [Институт СПИНТех, Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"] 
210 # # $a Москва  $d 2019 
215 # # $a 24 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—24 (15 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar80431  $a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28578  $a РОСТ КРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18664  $a МОДЕРНИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2667262  $a АЛГОРИТМЫ УПРАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.13.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 50.47  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 28.17.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.17  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 0 $3 BY-SEK-ar13671625  $a Чжо Наинг Сое 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20200109  $g RCR