Математическое моделирование процесса напыления тонких пленок, их структуры и свойств: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ / Григорьев Федор Васильевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Григорьев, Ф. В. |
| Published: | Москва , 2019 |
| Physical Description: |
32 с. : ил., табл.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||