Математическое моделирование процесса напыления тонких пленок, их структуры и свойств: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ / Григорьев Федор Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//230922(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Григорьев, Ф. В.
Опубликовано: Москва , 2019
Физические характеристики: 32 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001589655
005 20200204152144.0
100 # # $a 20191111d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Математическое моделирование процесса напыления тонких пленок, их структуры и свойств  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ  $f Григорьев Федор Васильевич  $g [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова] 
210 # # $a Москва  $d 2019 
215 # # $a 32 с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 27—32 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19584  $a НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37867  $a ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.13.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar9760543  $a Григорьев  $b Ф. В.  $g Фёдор Васильевич  $c кандидат химических наук  $c математик 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20191111  $g RCR