|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001585228 |
| 005 |
20200203134745.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20191018d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Федотов Сергей Дмитриевич
$g [Институт нано- и микросистемной техники (НМСТ), Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23 (15 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7368
$a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5961785
$a КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ-СТРУКТУРА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23914
$a ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3275927
$a ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1718776
$a ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39284
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22750
$a ПАРОГАЗОВЫЕ СМЕСИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-235335
$a Федотов
$b С. Д.
$g Сергей Дмитриевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20191018
$g RCR
|
