Создание прецизионных микроструктур в матрицах из анодного оксида алюминия для сенсоров потоков плазмы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Андрухович Ирина Михайловна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Андрухович, И. М. (род. 1989) |
| Опубликовано: | Минск , 2019 |
| Физические характеристики: |
183 л. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||