Создание прецизионных микроструктур в матрицах из анодного оксида алюминия для сенсоров потоков плазмы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Андрухович Ирина Михайловна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//7177(039), ##32Н//424135CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Андрухович, И. М. (род. 1989)
Опубликовано: Минск , 2019
Физические характеристики: 183 л. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ
СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
ОКСИД АЛЮМИНИЯ
АНОДНО-ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МАРШРУТЫ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001579195
005 20220412161806.0
100 # # $a 20190923h20192019k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Создание прецизионных микроструктур в матрицах из анодного оксида алюминия для сенсоров потоков плазмы  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Андрухович Ирина Михайловна  $g научный руководитель Гасенкова И. В.  $g Государственное научное учреждение "Институт физики им. Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси", Государственное научно-производственное объединение "Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника" 
210 # # $a Минск  $d 2019 
215 # # $a 183 л.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: л. 163—179 
328 # 0 $d Защищена 14.03.2019, утверждена 12.06.2019 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001530150 
606 0 # $3 BY-NLB-ar66664  $a ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29804  $a СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78052  $a ОКСИД АЛЮМИНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7185765  $a АНОДНО-ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8566252  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33930  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МАРШРУТЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.357.6(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13448002  $a Андрухович  $b И. М.  $g Ирина Михайловна  $c кандидат технических наук, электроника  $f род. 1989 
702 # 1 $3 BY-NLB-ar2668667  $a Гасенкова  $b И. В.  $g Ирина Владимировна  $c доктор физико-математических наук  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2380680  $a Институт физики имени Б. И. Степанова  $c Минск  $4 995  $4 595 
712 0 0 $3 BY-SEK--ar13179862  $a "Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника"  $g государственное научно-производственное объединение  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190212  $g RCR 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001579195&fileID=9426295 

Схожие документы