|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001578599 |
| 005 |
20191210194143.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20190919d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Абдуллаев Даниил Анатольевич
$g [МИРЭА –оссийский технологический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29520
$a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5924366
$a ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТ СВИНЦА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4867
$a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3220262
$a КРИТИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12180
$a ИОННЫЕ ПУЧКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7368
$a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38874
$a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1950898
$a ПАРАМЕТРИЗАЦИИ МЕТОД
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13596139
$a Абдуллаев
$b Д. А.
$g Даниил Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190919
$g RCR
|
