Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Мельников Сергей Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//229660(039), 2Н//229661(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мельников, С. Н.
Опубликовано: Минск , 2019
Физические характеристики: 24 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001576076
005 20200313190658.0
100 # # $a 20190906d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d bel  $d rus  $d eng 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Мельников Сергей Николаевич  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2019 
215 # # $a 24 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17—21 (35 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001611402 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17968  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4914454  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17280  $a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25739  $a ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.793.74:519.87:004.9(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 55.22.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.41.25  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-CNB-ar1681789  $a Мельников  $b С. Н.  $g Сергей Николаевич  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 595  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190906  $g RCR 
830 # # $a 03.10.2019 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/55472/2/default.htm 

Схожие документы