Климатизация производственных помещений для изготовления полупроводниковых приборов: (перевод с немецкого) / Кох Х. и др.

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ91085,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной информации , 1966
Физические характеристики: 21 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Серия: Переводы иностранной литературы перевод № 20/ЭТ-1417
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001575510
005 20191110144431.0
010 # # $d 8 к. 
100 # # $a 20190903d1966 k y0rusy50 ca 
101 1 # $a rus  $c ger 
102 # # $a RU 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Климатизация производственных помещений для изготовления полупроводниковых приборов  $e (перевод с немецкого)  $f Кох Х. и др.  $g Министерство электронной промышленности СССР 
210 # # $a Москва  $c Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной информации  $d 1966 
215 # # $a 21 с.  $c ил.  $d 22 см 
225 1 # $a Переводы иностранной литературы  $i Серия "Технология организации производства"  $v перевод № 20/ЭТ-1417 
304 # # $a Заглавие и авторы оригинала: Ein Beitrag zur Klimatistierung von Halbleiterproduktionsstätten / Koch H. et al. 
320 # # $a Библиография: с. 20―21 
454 # 0 $1 2001   $a Ein Beitrag zur Klimatistierung von Halbleiterproduktionsstätten  $1 701 1  $a Koch  $b H. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27159  $a РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar61417  $a ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18256  $a МИКРОКЛИМАТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26022  $a ПРОМЫШЛЕННАЯ ВЕНТИЛЯЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5103  $a ВЕНТИЛЯЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30294  $a КОНДИЦИОНИРОВАНИЯ ВОЗДУХА СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23118  $a ПЕРЕВОД (лингв.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1783314  $a ПЕРЕВОДНАЯ ЛИТЕРАТУРА  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382-027.3:658.2:697.9=030  $v 4  $z rus 
675 # # $a 697.9=030  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.82  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 67.29.53  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 67.53.25  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 75.31.25  $v 6  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-ar13585127  $a Кох  $b Х. 
712 0 2 $3 BY-SEK-ar13620394  $a Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной информации по электронной технике  $c Москва  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190903  $g RCR